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杏彩体育平台85实验室等离子清洗机

点击次数:23    发布时间:2023-05-15

  简单介绍: 8.5实验室等离子清洗机是一种等离子体清洗剂或蚀刻装置,直径8.5英寸x 14英寸长石英腔和0 - 80W可变射频功率。8.5实验室等离子清洗机采用空气、氧气或氩气等离子体对基体或晶圆片表面的纳米级有机污染物进行清洗和去除。在高射频功率下杏彩体育平台85实验室等离子清洗机,有机去除率高可达20nm /min左右。8.5实验室等离子清洗机是在外......

  8.5实验室等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,杏彩体育平台将对生长具有显著的作用。

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